yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->СПИСОК ЦИТОВАНОЇ В АВТОРЕФЕРАТІ ЛІТЕРАТУРИ

мас-спектрометрія нейтральних частинок, розпилених іонами з енергією ДО 170 кеВ

СПИСОК ЦИТОВАНОЇ В АВТОРЕФЕРАТІ ЛІТЕРАТУРИ

 

         1*. Gerhard W. A model calculation of the neutral molecule emission by sputtering processes / W. Gerhard // Zeitschrift für Physik B. – 1975. – V. 22, № 1. – P. 31–39.

         2*. Shulga V. I. Angular dependence of preferential emission in isotope sputtering / V. I. Shulga // Radiation Effects and Defects in Solids. – 1997. – V. 142, № 1. – P. 351–367.

 

АНОТАЦІЯ

 

         Єрьомін С. О. Мас-спектрометрія нейтральних частинок, розпилених іонами з енергією до 170 кеВ. – Рукопис.

         Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.01 – фізика приладів, елементів і систем. – Сумський державний університет, Суми, 2010.

         Дисертація присвячена експериментальному дослідженню процесів іонного розпилення твердих тіл у широкому інтервалі енергій первинних іонів методом мас-спектрометрії вторинних нейтральних частинок. Із цією метою створена установка для мас-спектрометричного аналізу розпилених нейтралей, що дозволяє працювати у діапазоні енергій первинних іонів до 170 кеВ, та розроблені відповідні методики досліджень.

         Запропоновано методику обчислення коефіцієнта трансмісії іонно-оптичної системи монопольного мас-аналізатора з енергофільтром як функції енергії іонів. Методом комп’ютерного моделювання траєкторій електронів та іонів у системі аналізу розпилених частинок визначені оптимальні потенціали іонно-оптичних елементів системи, що забезпечують максимальну чутливість установки, для кожного із трьох режимів роботи.

         Проведені дослідження емісії нейтральних кластерів міді, а також процесу переважного розпилення ізотопів молібдену при бомбардуванні поверхні іонами аргону в діапазоні енергій від 30 до 170 кеВ. Отримані результати добре узгоджуються з теорією формування кластерів при розпиленні та результатами моделювання на ЕОМ процесів переважного розпилення ізотопів.

         Ключові слова: іонне розпилення, мас-спектрометр, первинні іони, вторинні нейтралі, енергофільтр, кластер, ізотоп.

 

 

 

 

 

 

АННОТАЦИЯ

 

         Еремин С. А. Масс-спектрометрия нейтральных частиц, распыленных ионами с энергией до 170 кэВ. – Рукопись.

         Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.01 – физика приборов, элементов и систем. – Сумский государственный университет, Сумы, 2010.

         Диссертация посвящена экспериментальному исследованию процессов ионного распыления твердых тел в широком интервале энергий первичных ионов методом масс-спектрометрии вторичных нейтральных частиц. С этой целью создана установка для масс-спектрометрического анализа распыленных нейтралей, которая в отличие от традиционных установок подобного типа позволяет работать в диапазоне энергий первичных ионов до 170 кэВ, и разработаны соответствующие методики исследований.

         Экспериментально определена относительная ширина полосы пропускания энергофильтра на полувысоте (6% та 11,5% при ширине щели промежуточной диафрагмы энергофильтра 0,5 и 1 мм соответственно). Предложена методика исследования коэффициента трансмиссии ионно-оптической системы монопольного масс-анализатора с энергофильтром как функции энергии ионов. Методом компьютерного моделирования траекторий электронов и ионов в системе анализа распыленных частиц определены потенциалы ионно-оптических элементов системы, обеспечивающие максимальную чувствительность установки, для каждого из трех режимов работы.

         Проведены масс-спектрометрические исследования эмиссии нейтральных кластеров меди Cun (n = 2 и 3) при бомбардировке поверхности образца ионами аргона в интервале энергий от 30 до 170 кэВ. Установлено, что с ростом энергии первичных ионов в указанном диапазоне, а также с ростом угла эмиссии распыленных частиц относительное содержание кластеров меди в потоке распыленных частиц уменьшается в соответствии с рекомбинационной моделью формирования кластеров при распылении.

         Проведены также исследования преимущественного распыления изотопов на примере пары 92Mo - 100Mo при бомбардировке ионами аргона в интервале энергий от 30 до 170 кэВ. Установлено, что в указанном диапазоне энергий первичных ионов параметр изотопного обогащения δ0 остается стабильным (δ0 ≈ 4,9%). С ростом угла эмиссии распыленных частиц показатель изотопного обогащения уменьшается. Данные экспериментальные результаты соответствуют полученным другими исследователями в процессе моделирования на ЭВМ.

         Ключевые слова: ионное распыление, масс-спектрометр, первичные ионы, вторичные нейтрали, энергофильтр, кластер, изотоп.

 

 

 

 

 

8