yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->3.2.1.3 Механічна деформація плівки без підкладки

Наноелектроника (2 часть)

3.2.1.3 Механічна деформація плівки без підкладки

 

Деформацію, що виникла у результаті дії механічних зусиль, що діють незалежно в l - і w – напрямах, можна обчислити, дотримуючись аналогічної процедури пункту 3.1.1. Таким чином, можна отримати відповідні вирази

 

                                                       (3.16)

                                                   (3.17)

                        ,                        (3.18)

 

де ε'L і (ε'T) – деформація, що виникла у результаті дії зусилля у l(w) – напрямах відповідно.

Альтернативна форма виразу для εЗ має вигляд

 

                     .                   (3.19)

 

Така форма рівняння зручна, оскільки воно виражає величину εЗ через загальні деформації ε1 і ε2.

Використовуючи рівняння (3.19), можна легко перевірити, що ε'L = εL та ε'T = εT (як показано в рівняннях 3.14 і 3.15), а рівняння (3.18) зводиться до рівняння (3.11).

В особливому випадку, коли

 

                                      ,                               (3.20)

 

рівняння (3.19) можна записати у вигляді співвідношення

 

                                    ,                        (3.21)

 

де  згідно з (1.535) .

Це рівняння описує деформацію по товщині під дією теплових напруг у плівках, як показано у пункті 3.9.2 розділу 1.

 

 

22