yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->3.2.1.4 Коефіцієнт тензочутливості

Наноелектроника (2 часть)

3.2.1.4 Коефіцієнт тензочутливості

 

Для тонких металевих плівок коефіцієнт тензочутливості питомого опору можна обчислити, якщо скористатися моделлю провідності, яка враховує різні механізми розсіювання електронів (пункт 1.1.3).

Незалежно від моделі відношення провідності плівки σf до провідності масивного зразка σ0 можна виразити у вигляді загального рівняння

 

                               (3.22)

 

де F – аналітична функція товщини плівки d; компоненти діаметра зерна Dg,; СДВП масивного зразка.

Загальні вирази для поздовжнього та поперечного коефіцієнтів тензочутливості питомого опору γˊfL та γˊfТ мають вигляд

                                 ,                         (3.23)

                                 .                       (3.24)

 

Коефіцієнти тензочутливості опору будуть виражатися так:

 

                                    ,                               (3.25)

                                    ,                             (3.26)

 

де Rf – опір плівки, тобто

 

                                 .                            (3.27)

 

Логарифмічне диференціювання рівняння (3.27) приводить до співвідношень

 

                        ,                 (3.28)

                   ,                 (3.29)

 

якщо взяти до уваги рівняння (3.6), (3.7) і (3.11).

Після логарифмічного диференціювання рівняння (3.22) отримуємо вирази

                     ,             (3.30)

                          ,           (3.31)

де

                  (3.32)

 

Подібне співвідношення можна отримати і для .

У рівнянні (3.32) коефіцієнти тензочутливості геометричних параметрів, таких, як , можна легко обчислити, використовуючи загальні закони пружності твердих тіл та коефіцієнт Пуассона. У наступному підпункті буде розглянуті коефіцієнти тензочутливості параметрів σ0, λ0, p та t.

 

 

23