yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->3.2.2.2 Коефіцієнт тензочутливості при врахуванні розсіювання електронів на зовнішніх і внутрішніх поверхнях

Наноелектроника (2 часть)

3.2.2.2 Коефіцієнт тензочутливості при врахуванні розсіювання електронів на зовнішніх і внутрішніх поверхнях

 

Модель провідності ФЗ описує розсіювання електронів на зовнішніх поверхнях плівки, що визначається відомим коефіцієнтом p (пункт 1.2.1).

У цілому припускається [11-13; 20-27], що величина p при деформації змінюється дуже мало, хоча це ніколи не будо доведено теоретично. Але фізично таке припущення видається прийнятним, оскільки шорсткість поверхні і, отже, p, імовірно, при деформації змінюються ненабагато. Отже,

 

                               1).                     (3.63)

 

У рамках моделі ФЗ зведена провідність залежить тільки від зведеної товщини k = d/λ0 і від p. Тоді коефіцієнти тензочутливості питомого опору можна записати у вигляді співвідношень

 

                                (3.64)

                                (3.65)

де               ,                (3.66)

 

а  і  означені так:

                                 ,                                  (3.67)

 

1) Див. також Проценко І. Ю., Саєнко В. А. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості). – Суми: СумДУ, 2002. – С. 159 - 162, де запропонована прямо протилежна гіпотеза (примітка редактора перекладу).

                                 .                                  (3.68)

 

Параметри А(k, p) і B(k, p) визначаються співвідношеннями (1.439) і (1.440).

У граничному випадку товстої плівки асимптотичне наближення рівняння (3.66) має вигляд

 

                          .                (3.69)

 

Бачимо, що товщинний діапазон розмірного ефекту питомого опору та коефіцієнта тензочутливості однакові [23].

У випадку моделі Котті (пункт l.2.2), що враховує розсіювання електронів на зовнішніх поверхнях, вираз для γλL та γλТ має той самий вигляд, що і у випадку моделі ФЗ, лише параметр dlnF(k, p)/dlnk потрібно замінити на dlnС(μ)/dlnμ, де C(μ) – функція Котті (підпункт 1.2.2.2.).

 

 

25