yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->1.2 Термічний коефіцієнт опору

Наноелектроника (2 часть)

1.2 Термічний коефіцієнт опору

 

ТКО двошарової плівкової системи визначається як

                                                                        (20)

де ρ = (d1+d2)/(d1σ1+d2σ2) – питомий опір двошарової плівки. ТКО не залежить від процесів термічного розширення в плівці, враховуючи, що зміна СДВП λ1 і λ2 з температурою така сама, як і для масивного монокристала, питома провідність якого визначається як σ1 = 1/ρ01 і σ2 = 1/ρ02. Враховуючи це, можна записати вираз для ТКО у такому вигляді:

                                              (21)

                                             (22)

 

Враховуючи, що Х1 = σ1/σ01 і Х2 = σ2/σ02 та провівши диференціювання, отримуємо загальний вираз для α

 

                  (23)

де        (24)

 

Необхідно підкреслити, що наведене вище співвідношення задовольняє фізичні вимоги. Для монокристалічних зразків (β1 = β2 = 0) функції Х1 і Х2 не залежать від l1 і l2, тому похідні за l1 і l2 у співвідношенні (23) зникають. Крім того, у граничному випадку, коли розсіювання електронів на зовнішніх поверхнях, інтерфейсі та межах зерен стає незначним і електрони не можуть пройти крізь межу поділу шарів (β1 = β2 = 0; р1 = р2 = 1; R = 1; Т = 0), вираз для ТКО зводиться до такого вигляду:

 

                                                 (25)

 

який відповідає двом фізично незалежним шарам без розмірного ефекту.

Розглядаючи ТКО двошарової плівкової системи як величину, пов’язану з α0 непокритого базового шару, необхідно розраховувати цю функцію з такого співвідношення:

 

(26)

 

де ρ01(d2 = 0) = 1/σ1(d2 = 0).

 

 

38