yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share

Наноелектроника (2 часть)

1. Попередні зауваження

 

Для міцно закріпленої системи плівка-підкладка механічне зусилля, що прикладене до підкладки в напрямку її довжини, викликає поздовжню dlS/lS і  поперечну dwS/wS деформацію в підкладці з довжиною lS і шириною wS. Ці деформації пов’язані співвідношенням

 

                                                                              (1)

 

де µS – коефіцієнт Пуассона матеріалу підкладки. Ці деформації викличуть поздовжню і поперечну деформації плівки, які можна визначити за співвідношеннями

 

                                                                    (2)

                                                               (3)

Отже,

                                                                (4)

                                                (5)

 

де µf, εL та εT  – коефіцієнт Пуасона, поздовжня і поперечна деформація плівки відповідно.

Однак поздовжня деформація підкладки буде призводити до поперечної деформації плівки. Зусилля, прикладені поперечно і поздовжньо до підкладки, передаються плівці, але напрям товщини плівки залишається вільним від деформації. Використовуючи такі припущення, було достовірно встановлено [13], що формула пружної деформації, що призводить до деформації плівки по товщині t,  має такий вигляд:

 

                                                                     (6)

 

Застосувавши співвідношення (4) та (5) до (6), отримуємо

 

                                                                              (7)

 

Оскільки поздовжній і поперечний коефіцієнти тензочутливості опору масивного матеріалу γ0L і γ0T визначаються відносною зміною опору, то для плівки із Rf при поздовжніх і поперечних механічних деформаціях підкладки [13]  можемо записати

 

                                                                  (8)

                                                                           (9)

 

Крім того, поздовжні і поперечні коефіцієнти тензочутливості об'ємної провідності γ0L і γ0T відповідно визначається згідно з [14]:

 

                                                      (10)

                                               (11)

 

де  і   – це поздовжній і поперечний деформаційні коефіцієнти довжини вільного пробігу у масивному зразку. Індексами s, f та 0 позначені величини, що відносяться до підкладки, плівки та масивного матеріалу відповідно. Однак, у тих металах, що розглядаються у цій роботі, зміна σ0 від l та w може бути повністю пояснена зміною ймовірності електрон-фононного розсіювання носіїв у залежно від амплітуди термічних коливань атомів, які викликані деформацією зразка. При такому наближенні  і  визначаються  ≈  ≈ 2g(1-2µf), де g – стала Грюнайзена [14].

У цьому пункті ми мали справу з одношаровою тонкою металевою плівкою, нанесеною на неметалеву підкладку.

 

 

50