yandex rtb 1
ГоловнаЗворотній зв'язок
yande share
Главная->Різні конспекти лекцій->Содержание->2. Коефіцієнт тензочутливості двошарових тонких металевих плівок

Наноелектроника (2 часть)

2. Коефіцієнт тензочутливості двошарових тонких металевих плівок

 

Розглянемо двошарову тонку металеву плівку, що складається з базового шару і верхнього шару, що виготовлені з двох різних металів, нанесених на неметалеву підкладку (див. рис. В.1). На плівку діє паралельне поверхні зовнішнє електричне поле.

Провідність плівки σf при взятті до уваги розсіяння електронів провідності на межі поділу між шарами

 

Рисунок В.1 – Геометрична модель двошарової металевої тонкої плівки на діелектричній підкладці. Стрілками вказані відбиття та проходження з заломленням електронів на поверхні та інтерфейсі

 

була розрахована у праці [15], використовуючи відомі теорії Фукса-Зондгеймера для електропровідності двошарових тонких металевих плівок

 

             (12)

 

де функція F1(K, P, Q) визначається за таким співвідношенням

 

                           (13)

 

де використані такі позначення:

    (14)

                                              (15)

      (16)

      (17)

де  та  

Так само можна визначити і функцію F1(K, P, Q), змінивши в інтегралі співвідношеня (13) індекс 1 (2) на 2 (1), символи А(В) на В(А) та С на С-1.

Необхідно враховувати, що двошарова плівка може складатися з різних металів. Тому ми розглядали різні ефективні маси m1, m2, швидкості на поверхні Фермі υ1F, υ2F та середні довжини вільного пробігу у масивному матеріалі λ01, λ02. Коефіцієнти P01, P20, P12 та P21 називаються фуксівськими коефіцієнтами дзеркальності, що характеризують ймовірності відбиття електронів провідності від зовнішніх поверхонь та меж поділу між шарами. Через різну шорсткість поверхонь не обов’язково, що коефіцієнт P12 дорівнював P21. Коефіцієнт Q характеризує ймовірність проходження інтерфейсу елекронами і Q12=Q21=Q.

Із співвідношення (12) за умови коли, довжина та ширина обох шарів та підкладки однакові, тобто l1=l2=l w1=w2=w, отримуємо

 

                      (18)

Логарифмічне дефенціювання співвідношення (18) дає

                                        (19)

 

Тоді

 

(20)

 

де F1 та F2 позначені функції F1(K, P, Q) та F2(K, P, Q) відповідно.

Якщо обидва шари двошарової плівки міцно прикріплені один до одного і до підкладки, то можна стверджувати, що механічна деформація обох шарів однакова, яка є результатом деформацій dl/l і dw/w підкладки. Тому

 

                                                                     (21)

                                                                      (22)

 

 

51