Наноелектроника
РОЗМІРНІ ЕФЕКТИ В ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ
1.1 Кінетичне рівняння Больцмана
1.1.2 Рівняння Больцмана для електротранспорту (підхід Котті)
1.1.3 Види електронного розсіювання
1.2 Моделі розсіювання електронів на зовнішніх поверхнях
--- 1.2.1 Модель Фукса-Зондгеймера (ФЗ)
--- 1.2.1.1 Теоретичний аналіз
1.2.1.2 Плівки, що мають нехарактерні властивості
1.2.2 Альтернативні класичні моделі для металевих плівок
1.2.3 Моделі для двошарових систем
1.2.5 Урахування шорсткості поверхні
1.2.6 Експериментальне визначення параметрів електроперенесення в рамках моделі Фукса-Зондгеймера
1.3 Теоретичні моделі електропровідності металевих плівок
--- 1.3.1 Розсіювання електронів на межах зерен
--- 1.3.1.1 Теоретичні основи моделі провідності Маядаса-Шацкеса
1.3.1.2 Модель ефективної довжини вільного пробігу
1.3.1.3 Модель ефективного часу релаксації
1.3.2 Спрощення моделі Маядаса-Шацкеса
1.3.2.2 Лінеаризоване співвідношення для питомого опору полікристалічної плівки
1.3.2.3 Лінеаризоване співвідношення для питомого опору монокристалічної плівки
1.3.3 Одновимірні статистичні моделі
1.3.3.2 Питомий опір, пов'язаний із зерномежовим розсіюванням
1.3.3.3 Порівняння з моделлю Маядаса-Шацкеса. Коментарі до моделі Варкуша
1.3.4 Двовимірна модель провідності для металевої плівки, що задовольняє умову монокристалічності
1.3.4.2 Розмірний ефект у провідності плівок, що задовольняють умову монокристалічності
1.3.4.3 Лінеаризоване співвідношення для провідності
1.3.4.4 Порівняння з моделями Маядаса-Шацкеса і Варкуша
1.3.4.5 Порівняння з експериментом
1.3.5 Тривимірна модель провідності полі-кристалічної металевої плівки
1.3.5.2 Розмірний ефект в електропровідності
1.3.5.3 Лінеаризоване співвідношення провідності
1.3.5.4 Порівняння з моделлю Маядаса-Шацкеса
1.3.5.5 Порівняння з експериментом
1.3.5.6 Ізотропне зерномежове розсіювання електронів
1.3.6 Методика розрахунку термічного коефіцієнта опору металевих плівок
1.3.6.2 Основне співвідношення для ТКО
1.3.6.3 ТКО у випадку поверхневого розсіювання електронів
1.3.6.4 Урахування зерномежового розсіяння електронів у співвідношення для ТКО
1.3.7 Розмірний ефект у ТКО полікристалічної металевої плівки
1.3.7.2 Ефективні моделі Фукса-Зондгеймера і часу релаксації для ТКО
1.3.7.3 Одно- і тривимірна моделі ТКО
1.3.7.4 Модель ізотропного зерномежового розсіювання для ТКО
1.3.7.5 Порівняння з експериментом
1.3.8 Розмірний ефект ТКО у монокристалічній металевій плівці
1.3.8.2 Модель ефективної СДВП для ТКО
1.3.8.4 Визначення параметрів електроперенесення
1.3.8.5 Порівняння з експериментом; вплив домішок і дефектів
1.3.9 Вплив макронапружень і матеріалу підкладки на величину ТКО
1.3.9.2 Вплив матеріалу підкладки
1.3.10 Розмірні ефекти у питомому опорі й ТКО металевих плівок
1.3.10.2 Відхилення від правила Маттіссена для полікристалічної плівки
1.3.10.3 Відхилення від правила Маттіссена для монокристалічної плівки
1.3.10.4 Вплив домішок та дефектів
Список літератури до розділу 1
12 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57