ГоловнаЗворотній зв'язок

Наноелектроника

Передмова редактора перекладу

РОЗДІЛ 1

РОЗМІРНІ ЕФЕКТИ В ЕЛЕКТРОПРОВІДНОСТІ

1.1 Кінетичне рівняння Больцмана

1.1.2 Рівняння Больцмана для електротранспорту (підхід Котті)

1.1.3 Види електронного розсіювання

1.2 Моделі розсіювання електронів на зовнішніх поверхнях

--- 1.2.1 Модель Фукса-Зондгеймера (ФЗ)

--- 1.2.1.1 Теоретичний аналіз

1.2.1.2 Плівки, що мають нехарактерні властивості

1.2.2 Альтернативні класичні моделі для металевих плівок

1.2.2.2 Модель Котті

1.2.3 Моделі для двошарових систем

1.2.4 Софістичні моделі

1.2.5 Урахування шорсткості поверхні

1.2.6 Експериментальне визначення параметрів електроперенесення в рамках моделі Фукса-Зондгеймера

1.3 Теоретичні моделі електропровідності металевих плівок

--- 1.3.1 Розсіювання електронів на межах зерен

--- 1.3.1.1 Теоретичні основи моделі провідності Маядаса-Шацкеса

1.3.1.2 Модель ефективної довжини вільного пробігу

1.3.1.3 Модель ефективного часу релаксації

1.3.2 Спрощення моделі Маядаса-Шацкеса

1.3.2.1 Модель Котті

1.3.2.2 Лінеаризоване співвідношення для питомого опору полікристалічної плівки

1.3.2.3 Лінеаризоване співвідношення для питомого опору монокристалічної плівки

1.3.3 Одновимірні статистичні моделі

1.3.3.2 Питомий опір, пов'язаний із зерномежовим розсіюванням

1.3.3.3 Порівняння з моделлю Маядаса-Шацкеса. Коментарі до моделі Варкуша

1.3.4 Двовимірна модель провідності для металевої плівки, що задовольняє умову монокристалічності

1.3.4.2 Розмірний ефект у провідності плівок, що задовольняють умову монокристалічності

1.3.4.3 Лінеаризоване співвідношення для провідності

1.3.4.4 Порівняння з моделями Маядаса-Шацкеса і Варкуша

1.3.4.5 Порівняння з експериментом

1.3.5 Тривимірна модель провідності полі-кристалічної металевої плівки

1.3.5.2 Розмірний ефект в електропровідності

1.3.5.3 Лінеаризоване співвідношення провідності

1.3.5.4 Порівняння з моделлю Маядаса-Шацкеса

1.3.5.5 Порівняння з експериментом

1.3.5.6 Ізотропне зерномежове розсіювання електронів

1.3.6 Методика розрахунку термічного коефіцієнта опору металевих плівок

1.3.6.2 Основне співвідношення для ТКО

1.3.6.3 ТКО у випадку поверхневого розсіювання електронів

1.3.6.4 Урахування зерномежового розсіяння електронів у співвідношення для ТКО

1.3.7 Розмірний ефект у ТКО полікристалічної металевої плівки

1.3.7.2 Ефективні моделі Фукса-Зондгеймера і часу релаксації для ТКО

1.3.7.3 Одно- і тривимірна моделі ТКО

1.3.7.4 Модель ізотропного зерномежового розсіювання для ТКО

1.3.7.5 Порівняння з експериментом

1.3.8 Розмірний ефект ТКО у монокристалічній металевій плівці

1.3.8.2 Модель ефективної СДВП для ТКО

1.3.8.3 Двовимірна модель ТКО

1.3.8.4 Визначення параметрів електроперенесення

1.3.8.5 Порівняння з експериментом; вплив домішок і дефектів

1.3.9 Вплив макронапружень і матеріалу підкладки на величину ТКО

1.3.9.2 Вплив матеріалу підкладки

1.3.10 Розмірні ефекти у питомому опорі й ТКО металевих плівок

1.3.10.2 Відхилення від правила Маттіссена для полікристалічної плівки

1.3.10.3 Відхилення від правила Маттіссена для монокристалічної плівки

1.3.10.4 Вплив домішок та дефектів

Список літератури до розділу 1

 

1